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天津大學(xué)擬819萬元采購一套聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)

[2018/5/17]

  作為中國第一所現(xiàn)代大學(xué)，天津大學(xué)是211工程、985工程首批重點建設(shè)的大學(xué)。學(xué)�？蒲袑嵙π酆瘢冀K聚焦國家重大戰(zhàn)略需求、聚焦世界科技發(fā)展前沿，取得了豐碩的成果。隨著中國經(jīng)濟(jì)實力的提高，大學(xué)實驗室建設(shè)也走向了更加專業(yè)化、規(guī)模化、完整化的道路。天津大學(xué)時刻注重提升學(xué)院的科研水平，積極完善儀器設(shè)備配置，培養(yǎng)更多優(yōu)秀人才。
 
實驗室是現(xiàn)代科學(xué)的搖籃，是培養(yǎng)科技人才的孵化器，實驗室儀器的購買關(guān)系到大學(xué)師資力量和教學(xué)水平的提高。近日，天津大學(xué)精儀學(xué)院就聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)項目進(jìn)行公開招標(biāo)。預(yù)算金額為819萬元，共采購一套聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)。
 
項目名稱：天津大學(xué)精儀學(xué)院聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)
 
項目編號：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)
 
一、采購項目的名稱、數(shù)量、簡要規(guī)格描述或項目基本概況介紹：
 
序號
設(shè)備名稱
數(shù)量
簡要技術(shù)規(guī)格
1
聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)
1套
具備離子束加工過程實時監(jiān)控功能

  聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。在半導(dǎo)體行業(yè)有著重要作用，可用來切割納米級結(jié)構(gòu)，對光刻技術(shù)中的屏蔽板進(jìn)行修補，制作透射電鏡樣品，分離和分析集成電路的各個元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導(dǎo)電性等等。
 
  目前，我國的科研單位及高等院校在聚焦離子束曝光技術(shù)及其應(yīng)用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成績。未來，隨著我國微電子工業(yè)的發(fā)展，聚焦離子束曝光技術(shù)及其應(yīng)用技術(shù)也將被提高到新的水平。天津大學(xué)精儀學(xué)院此次添置這一設(shè)備，將為學(xué)科研究工作順利開展提供硬件支撐，意義重大。